微纳米薄膜力电热耦合测量系统
Nanoindentation
型 号：Bruker-Hysitron Tribo-indenter TI980
制 造 商：Bruker,Inc
存放 地点：550栋115
主要功能及特色
布鲁克TI 980纳米压痕仪集高性能与多功能于一体，可实现全面的纳米力学测试与分析。其主要特色包括：
强大的基础功能：支持定量纳米/微米压痕、划痕、摩擦磨损及动态测试等多种力学加载模式。
高精度与灵敏性：搭载Performech II先进控制系统，具备高测试带宽、可靠测量与高分辨率原位成像能力。
优异的灵活性与扩展性：可适配多种外场条件，模块化设计满足多样化的纳米力学表征需求。
主要技术指标
1、力学测量模块
(1)低载压痕模块
①通过静电压驱动进行力学加载，载荷加载分辨率≤3 nN，最大载荷≥5 mN，载荷噪音背景≤30 nN，最小接触力≤90 nN；
②通过电容传感进行位移测量，传感器位移分辨率≤0.01 nm，Z轴方向压头移动的最大范围≥50mm，最大位移≥5 μm，位移噪音背景＜0.1 nm，热漂移≤0.05 nm/s；
(2)低载划痕
①横向位移噪音≤3 nm，横向位移分辨率≤0.02 nm，最大横向载荷力≥1mN，横向载荷分辨率≤50 nN，载荷噪声背景＜4 μN，热漂移（在室温条件下）≤0.05nm/s；
(3)低载摩擦磨损模块
磨损面积范围≥1 μm×1 μm至60 μm×60μm，最小纵向载荷≤90 nN；
(4)高载压痕模块
最大载荷≤2 N，载荷噪音背景≤20 μN，通过电容传感器测量位移，以达到最佳位移分辨率≤0.01 nm，最大位移≥50 μm，位移噪音背景≤0.5 nm；
(5)高载划痕模块
最大横向载荷力≥5 N，横向载荷分辨率≤1μN，横向载荷噪声背景≤50 μN，最大横向位移≥150 mm，横向位移噪音背景≤0.5 nm，横向位移分辨率≤0.1 nm。
(6)动态力学测试模块
频率范围≥0.1Hz-300Hz，最大动态振幅力≥5mN，最大准静态力≥10mN，最大动态振幅≥2 μm，最大准静态位移≥5μm，位移噪声≤0.2nm；
2、形貌及性能原位测试表征
（1）高解析原位扫描成像及定位系统
探针定位精度可达±10 nm，对压痕、划痕等测试前后形貌进行扫描，可配合高温模块实现高温条件下的原位扫描成像的测试需求；扫描成像分辨率≥4096×4096像素点；X、Y方向扫描范围≥60µm×60µm
（2）快速压痕模块
超高速力学特性测试：每秒钟≥6个点，可自动与原位扫描成像图像叠加，得到力学与表面形貌分布图；
3、多场加载
（1）冷热环境测试平台
温度范围，-120℃到400℃，温度分辨率0.001℃，位移噪音背景≤1 nm，温度精控误差≤0.1℃；
（2）力电模块
电流躁底≤20 pA，电流分辨率≤5 pA，电压躁底≤10μV，电压分辨率≤5μV，最大电流≥10 mA，最大电压≥10 V，电学采集率≥4 kHz；
4、辅助测试
（1）彩色光学显微镜系统
光学分辨率≤1 μm，具备连续变焦功能，显示屏放大倍数≥200-2000；
（2）开放性样品平台
①可测样品尺寸范围≥100 mm×100 mm×50 mm，Z轴方向可移动范围≥50 mm，X、Y方向平台可移动范围≥250 mm×150 mm，X、Y方向步长分辨率≤50 nm，Z 步长分辨率≤5 nm；
②配备主动防震台:＞200 Hz环境下为被动防震，1-200 Hz环境下为主动防震；
主要附件及配置
Standard transducer (indentation/nanoscratch)
High load transducer
NanoECR System
NanoDMA & Modulus Mapping
xSol Environmental Control Stage
用户须知
需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。
设备预约链接：https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=3037
设备预约二维码：
注意：点击以上链接，如果出现“系统提示”弹窗（如图绿色方框1），请点击弹窗右上角的“X”（如图红色圆框2），直接关闭弹窗，即可浏览设备详情和收费情况；如需预约，请点击“仪器预约”按钮（如图蓝色方框3），并根据系统提示进行操作。
