提拉法单晶炉

Single-crystal Pulling Furnace

稿件来源:广东省磁电物性分析与重点实验室 编辑:办公室
 
 

 

 

 

 

 

 

 

型          号:JGD800

制   造   商:高奇

存 放 地 点:550栋 122

 

主要功能及特色

高奇JGD800提拉法单晶炉是采用CZ法制备高品质单晶材料的专业设备。其主要特色包括:

  1. 精密生长控制:配备高精度温控与运动系统,能精确控制提拉速度、旋转速度及温度场,确保单晶结构一致性与尺寸精度。

  2. 智能化操作与监控:支持自动化提拉程序,实时显示并记录生长参数,减少人为误差,提升过程可控性与重复性。

  3. 高纯度与节能设计:采用高纯度材料熔体容器有效降低污染,结合优化炉体隔热结构,在保证晶体纯净度的同时实现节能运行。

 

主要技术指标

  1. 炉体:φ800×1100mm(材料 304#不锈钢)

  2. 提拉行程:≥550mm

  3. 提拉爬行:≤2μm(拉速1mm/h)

  4. 中频功率:0-60kW(连续可调)

  5. 功率精度:≤1‰

  6. 称重量程:0-20Kg

  7. 称重显示精度:≤10mg

  8. 真空度:≤10Pa

  9. 设备能承受0.05MPa 的许用压力

  10. 旋转速度:0.1-40rpm(连续可调)

  11. 提拉速度:0.1-6000mm/h(连续可调)

  12. 线圈:适配坩埚和炉体,尺寸φ180mm×130mm

  13. 最高使用温度:≥2100℃

 

主要附件及配置

附件参数
1.冷水机组:名义制冷量:65kW,整机功率:≤22kW,可调温度范围:18-28℃(控制温度:22±1.5℃),扬程≥40m,水箱容积:1.5m3,水泵一用一备。
2.应急电池组:供电时间≥20min(以使用功率 25kW计),可以在线充电。
3.CCD:CCD 观测接种位置,采用高清2000万像素彩色相机。
4.测温系统:采用1(侧面)+1(底部)铂铑探头,温控仪测温范围:室温-2100℃,温控仪显示分辨率:≤0.01℃。
5.连续加料系统:称重量程≥3Kg,显示分辨率:10mg,加料速度:0-10g/min,料斗容量≥2kg,低温晶体适用。
6.机械泵:抽速:≥12L/s,接口:KF40,极限真空度:≥9*10-1Pa。
 

软件及其功能
1.晶体接种完成后,自动控制生长过程(以1英寸纯YAG或Al2O3为标准)。
2.具有晶体建模、参数设定、生长数据记录、历史数据分析、数据导出等功能。
3.停水、断电等异常状态报警、自动处理。

 

配置清单
1.提拉单晶炉主机1台,含:炉体、电源、控制系统、低真空系统、运动系统等。
2.辅助系统:应急电池组、CCD、测温系统、连续加料系统各1套。

 

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用,或由已培训的人员代为测试。

设备预约链接:https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=4037

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