光学浮区炉

Optical Floating Zone Furnace

稿件来源：广东省磁电物性分析与器件重点实验室 编辑：办公室 发布日期：2026-02-06
 
 

 

 

 

 

 

 

 

型          号：IR-furnace

制   造   商：Quantum Design JAPAN

存 放 地 点：550栋102

 

主要功能及特色

  1. 采用镀金双面镜与高反射曲面设计，加热温度可达2100℃–2200℃。光源采用商业化标准卤素灯，配合稳定的电源输出，保证灯丝加热功率恒定，确保温度控制精准可靠。

  2. 系统内置闭循环冷却系统，无需外接水冷装置，具有高效节能特点。设备占地面积小，采用独立支撑结构，操作简便，易于上手。

  3. 可在无坩埚污染的条件下生长大块高质量单晶，满足高纯度晶体材料的制备需求。

 

主要技术指标

  1. 加热区温度：≥2100℃

  2. 上下料棒轴行程：≥15cm

  3. 上下料棒轴旋转轴转速：≥36rpm

  4. 晶体生长速度：≥290 mm/hr

  5. 上下料棒轴可以独立控制位移和旋转

  6. 反射镜类型：镀金椭球反射镜

  7. 反射镜数量：≥2只

  8. 卤素灯功率：单个≥650W

  9. 卤素灯数量：≥2个

  10. 卤素灯电压调节范围：0~100V

  11. 真空度：优于10×10-4 torr

  12. 生长腔压强：≥10 bar

  13. 样品夹具直径：≥6 mm

  14. 控制系统：除手动控制之外，可用带触摸屏的电脑控制

 

主要附件及配置

  1. Basic system

  2. Remote control option

  3. Slower shaft rotation gear set

  4. Hydrostatic pressure kit

 

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。