角分辨光电子能谱仪

型         号：DA30L-8000

制   造   商：Scienta-Omicron Inc

存 放 地 点：571栋116

主要功能及特色

1. 原位一体化研究：集成MBE制备与ARPES精密探测于同一超高真空互联系统，实现从原子级薄膜/界面生长到电子结构解析的全流程原位研究。

2. 极限真空保障本征性：依托优于 1×10⁻¹⁰ mbar 的超高真空互联通道完成样品生长、处理与表征，避免空气暴露与污染，确保测得电子结构反映材料本征性质。

3. 高分辨电子结构表征能力：ARPES具备≤1.0 meV能量分辨率与<0.1°角分辨率并配备多气体单色化紫外光源，可精细解析超导能隙、拓扑表面态等费米能级附近关键结构，同时MBE支持多源精密生长与RHEED原位监控。

（1）能量分析器
①工作距离30-40 mm；
②样品和透镜入口之间没有加速电场，防止相对位置变化影响测试结果；
③透镜系统不使用网格，避免对低能电子角图案的干扰；
④使用MCP/数字相机探测器，探测器直径 ≥ 40 mm，同时可用能量通道 > 1000，同时可用角通道 > 750，所有能量通道总噪声技术 < 2 cps，平均每个通道噪声 < 0.01 cps，每像素可用动态范围 > 7 bit，探测器信息读出速率 > 70 帧/s；
⑤能量分辨率：≤1.0 meV FWHM @ 2 eV通过能；
⑥通过能：0.5, 1, 2, 5, 10 eV；
⑦不小于九个入口狭缝；
⑧透镜接收角：± 19°；
⑨角模式：± 3.5°, ± 7°, ± 15°；
⑩具备双重偏转模式：使用静电偏转方式，偏转模式工作时，透镜无需机械移动，以保证长期使用的可靠性，偏转模式线性扫描范围Theta x,y 角：± 3.5°, ± 7°, ± 15°，偏转模式旋转扫描范围Theta x,y 角：± 3.5°, ± 7°, ± 15°；
⑪角分辨率：< 0.1° 使用 0.1 mm 光斑；
⑫Transmission模式电子能量范围：0.5 ~ 12 eV，角分辨模式电子能量范围：0.5-12 eV，偏转模式电子能量范围：0.5-12 eV；
⑬使用另一套高压板卡扩展能量范围，扩展后：能量分辨率：≤ 1.8 meV FWHM @ 2 eV通过能，通过能：2, 5, 10, 20 eV，Transmission模式电子能量范围：0.5-100 eV，角分辨模式电子能量范围：0.5-100 eV，偏转模式电子能量范围：0.5-100 eV。

（2）分析腔
①采用双层μ金属屏蔽，在普通地磁场环境下，保证空腔体测量位置的剩磁< 0.1 μT；
②腔体漏率不大于3E-10 mbar*L/s；
③腔体高度 ≥ 700 mm，外径OD 306 (±2) mm。

（3）多气体高辉度单色化（光栅型）紫外光源
①高辉度紫外光源，可多种气体兼容，能量分辨率：不大于1meV @ He I 21.2 eV；输出能量范围：8.4 eV（Xe），10.03 eV（Kr），11.62 eV（Ar），16.67 eV（Ne），21.2 eV（He I），40.8 eV（He II）；
②紫外光通量：> 1E14 photons/sec；
③紫外光栅单色器，要求包含单色器腔体，紫外光栅：He I（21.2 eV）/He II（40.8 eV）；超环面结构，一块光栅，通过调节角度，实现He I和He II两个能量的单色化；
④工作距离：10-15 mm；
⑤样品处最小光斑：~0.5 mm（10 mm工作距离处），样品处（1 mm2）的最大光子数：~ 1012 光子/秒；
⑥高纯气体纯化及快速切换模块，高纯气路：He，VCR连接方式。

（4）六轴开循环低温样品架
①采用开循环制冷方式，具备面内旋转和倾角旋转两维转动；
②采用柔性液氦输液杆（长度2 m）及真空机械手（行程150 mm）；
③样品托尺寸不小于15.5×18 mm，样品台温度范围：6 K-325 K,温控系统，PID控温模式，温度精度：± 0.1 K；
④俯仰角（Tilt）旋转范围：60°(-15°, +45°)，转动精度：< 0.1°，由马达控制。面内角 (Azimuthal)旋转范围：240°（-120°, +120°），转动精度：< 0.1°，由马达控制；
⑤X/Y位移：± 12.5 mm，马达控制，控制精度：≤ 0.01 mm；
⑥Z位移200 mm或500 mm，马达控制，控制精度：≤ 0.01 mm；
⑦极角Polar：通过差分抽气旋转平台实现，旋转范围：± 180°，控制精度：≤0.1°（步进马达控制）；