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  • ▸ 薄膜沉积与外延生长

▸ 薄膜沉积与外延生长

稿件来源：广东省磁电物性分析与器件重点实验室 编辑：办公室 发布日期：2026-02-06

 

▸ 薄膜沉积与外延生长

  1. 磁控溅射镀膜系统

  2. 大面积高通量脉冲激光沉积系统

  3. 电子束蒸镀系统

  4. 激光分子束外延系统

  5. 原子层沉积系统

 

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